・若是液晶显示器等,1个元件的尺寸很微小只有几十μm而已,但由于整体尺寸很大,所以大量排列几十μm的元件。若是图1所示的液晶显示器的元件,间距只有几十μm,整体由这些微小的图案加工而成。
・若是这种加工生产技术,要求X-Y平台的定位性能的μm级定位高达几十万~几百万个,而且能够平面排列。
・普通的X-Y平台是由X轴和Y轴这两个直进机器人垂直装配而成。
・但是,X轴和Y轴分别采用的脉冲发生器存在产品SPEC.内的性能偏差,该脉冲发生时间误差会作为累积误差表现为μm级的重复定位精度(图2,3)。
・即使每个误差只有nm(纳米)米级,肉眼识别的话,就会发现有不一致程度不均匀的偏差,所以加工品很有可能不合格。
・作为该问题的对策,采用了新的电路设计,利用1个脉冲发生器来控制所有定位用直进机器人的脉冲时间(图4)。
注意事项等
・当然,必须采用与直进机器人的直进精度,或者也要求定位scale等定位精度相符合的等级,否则无效。